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顯影液濃度及溫度的控制

文章出處:本站  責任編輯:Editor  人氣:6138  發表時間:2012-3-18 11:55:45  【

 

顯影液濃度:
目前業界常用的顯影液是以無水碳酸鈉加純水配制而成,濃度一般為1-2%(質量比),但為了細線路的制作,緩和反應速度,降低Under-cut,現在顯影液的濃度多控制在1.0%±0.2%。較高蝕刻藥液濃度可允許較高干膜負荷量,但不容易清洗干凈,且操作范圍較小;反之,過低的藥液濃度所能承受的干膜負荷量較小。因此,正確的蝕刻顯影液藥液濃度應與干膜廠商研究,依照其干膜特性來配制。而蝕刻藥液濃度的檢驗可利用酸堿滴定來分析。重點是:為維持槽液濃度的穩定性,確保顯影品質,必須設置自動添加,一般以偵控槽液的PH值作自動添加,或計片、計面積添加。
 
顯影液溫度:
顯影液溫度是影響顯影速度的最大變數,一般都控制在30±2攝氏度,需依干膜種類而定,由于操作時蝕刻藥液因泵浦的壓縮作用產生大量的熱能會促使溫度升高,致使有顯影過度的可能,因此顯影槽需加裝冷卻水管來保持適當的溫度;而溫度過低時,又可能造成顯影不潔,因此需加裝加熱器使溫度能達到操作范圍,而得到最佳的顯影效果。

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