產(chǎn)品詳細描述

在薄膜、塑料或玻璃基體材料上制作各種功能圖形并精確定位，以便用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光的一種結(jié)構。在過去的十年，光學掩模版圖形的制作（PG）領域取得了顯著的進步。圖形可以方便地制作，用成象的方法或使一系列矩形圖形精確地定位到鉻片上。因為IC設計者設計的圖形通常是多邊型的，它們必須被分解成矩形，稱作“分割”數(shù)據(jù)。關系圖形產(chǎn)生器（OPG）的關鍵部件是光孔（或快門），和一個可移動的臺階。快門被安裝在可移動的頭上，它可以被旋轉(zhuǎn)以獲得需要的θ值，快門尺寸能夠控制產(chǎn)生特定H、W的矩形來制作圖形。用10×的鏡頭把矩形成像到一個鍍有鉻的玻璃圓片的光敏層上。用激光控制X－Y臺面精確地定位圓片。由臺面設置光孔所定義的矩形的中心坐標X和Y。光孔的尺寸可以控制在±7.5μm，導致掩模板上尺寸的±0.75μm的不確定性（縮小10倍后）。這是關鍵尺寸的控制。如果生產(chǎn)10×的掩模板，在硅片上產(chǎn)生±0.075的誤差。除孔的尺寸產(chǎn)生的錯誤外，還有掩模板和硅片加工時產(chǎn)生的錯誤。由于臺階受激光控制，所以X，Y的定位錯誤非常小。當仍然會導致定位錯誤。這樣的錯誤導致成品率的下降。
     OPG的成品率依賴于掩模板的復雜程度，數(shù)據(jù)分割程序的優(yōu)化，和要求的定位精度。一個調(diào)制得很好的AZ1370機器在產(chǎn)生一個優(yōu)化的圖形時，有每小時 10,000的曝光產(chǎn)率。一個復雜的VLSI電路有超過100,000的的矩形，要求10個多小時生產(chǎn)一個掩模板。在這個期間要求溫度的變化不能大于± 0.5F，這樣才不增加定位錯誤。光學掩模板的質(zhì)量不能被確定，直到鉻顯影、刻蝕后。在那時的探傷就是10小時工作的檢驗。
     電子束圖形制作
     電子束曝光系統(tǒng)（EBES）起初由貝爾實驗室在1970年開發(fā)。用光柵掃描
得到圖形。光學掩模板制作商業(yè)化的說法是有意義的，而且在商業(yè)領域和掩模版
     光掩模版制作缺陷用傳播光檢查。在過去，這樣的檢查是由人工用顯微鏡來完成的。當掩模版變得越來越復雜的時候，這項工作由自動化工具完成，變得更迅速也更少有錯誤。這種系統(tǒng)能夠在全片上檢測缺陷的分布和尺寸。在光學透明襯底上，0.35μm的缺陷（例如針孔），用最先進的設計系統(tǒng)能夠95%地檢查出來。自動檢查系統(tǒng)能夠檢查出細小的缺陷。掩模版制造者通常把一個掩模版在自動系統(tǒng)中檢查若干遍，以保證所有的缺陷都能夠被檢查出來。市場上有許多種掩模版缺陷檢查系統(tǒng)出售，包括KLA、KLARIS和CIC。
     圖形從掩模版轉(zhuǎn)移到硅片之前最后一次檢查是用玻璃硅片，玻璃硅片上只有一些單元被曝光。一個掩模版自動檢查系統(tǒng)在幾分鐘內(nèi)使掩模版合格。這些玻璃硅片是硅片的復制品，通常有76、100、125、和150mm尺寸的，它的表面涂有一層鋁膜。
     修復掩模版上的缺陷
     掩模版上的致命缺陷顯然是不希望的，有可能因為掩模版上有一個缺陷而使整個掩模版沒用。所以修復這些缺陷顯得非常有必要。已經(jīng)開發(fā)出一些掩模版修復方法。用激光修補不透明的掩模版已經(jīng)使用若干年了（即把不需要的鉻沾污去除）。一個聚焦的激光束僅僅能蒸發(fā)掉一些不需要的材料。激光蒸發(fā)可能對玻璃襯底產(chǎn)生潛在的破壞。大的鉻沾污可能需要若干激光脈沖一去除它們，如果產(chǎn)生激光灼傷，將導致具有復制能力的缺陷。
     保護膜
     雖然在投影復印系統(tǒng)中掩模版的制造無缺陷（即在需要時采用修補技術），而且光掩模版和硅片接觸時不產(chǎn)生破壞，但在傳遞過程中仍然可能導致掩模版缺陷。對于 1μm的分辨率，大得能夠引起缺陷的微粒仍然難以檢測和去除。所有在投影復印工藝中，用以保護掩模版不致缺陷的方法仍然迫切需要。一種有效的方法是應用保護膜。

一、用途及特點：對高精密的裝配要求用沖壓的工藝無法達到這樣的要求，卓力達生產(chǎn)的防蟲網(wǎng)精度高，采用的是化學蝕刻的工藝制作，蝕刻工藝解決了工業(yè)生產(chǎn)中對高精密零部件的要求，這種先進工藝制做的防蟲網(wǎng)，最小孔徑可以達到0.1mm，并且孔壁垂直，沒有任何毛刺；平面度保持在0.02mm以下，最小公差可做到+/-0.01mm。
     二、生產(chǎn)能力：針對光學掩模板樣品，卓力達配備有專業(yè)的樣品制作小組，一般樣品在2-3個工作日內(nèi)完；針對煙感器防蟲網(wǎng)批量產(chǎn)品我司以強大的技術力量（高級研發(fā)工程師8人，工程師16人，技術員20人）和先進以及高效的生產(chǎn)設備（進口卷對卷曝光機/卷對卷涂布線/進口蝕刻機）和專業(yè)的生產(chǎn)以及管理團隊來保證產(chǎn)品的產(chǎn)能和質(zhì)量
   三、交貨方式：以安全，美觀，環(huán)保的卓力達統(tǒng)一紙箱捆包，國內(nèi)快遞巨頭順豐速運24小時不間斷發(fā)貨，國內(nèi)快遞可在24小時內(nèi)到達。
 
   四、質(zhì)量保證以及售后服務承諾：所有光學掩模板產(chǎn)品在出貨前均會經(jīng)過嚴格專業(yè)的品質(zhì)檢驗，確保發(fā)貨到您手里的產(chǎn)品是合格產(chǎn)品。若客戶對我司的產(chǎn)品提出質(zhì)量異議，公司會在4小時內(nèi)作出處理意見，若需現(xiàn)場解決，我司將派出專業(yè)技術人員及品質(zhì)人員解決，不解決問題人員不撤離，對每次客戶的質(zhì)量問題及處理結(jié)果予以存檔，以做培訓和案例分析。

問：你們的蝕刻光學掩模板工藝成熟么？能批量化大規(guī)模生產(chǎn)么？同行為什么價格會更具優(yōu)勢？
答：YES，YES，我們是具有十多年蝕刻加工經(jīng)驗，有專業(yè)化的蝕刻技術團隊。卓力達是加入PCMI蝕刻行業(yè)協(xié)會的公司之一，能隨時接收協(xié)會的技術指導，工藝成熟。進口蝕刻生產(chǎn)線，大批量規(guī)模化生產(chǎn)，蝕刻自動化，避免更多人員操作，相對于同行，我們價格競爭力高。

問：和日本，美國蝕刻加工相比，你們?yōu)槭裁促u得更便宜？
答：國內(nèi)的優(yōu)勢在于轉(zhuǎn)變快，外加上人工，材料等成本相對于日本，歐美，我們更具優(yōu)勢。但是，我們并不是坐擁優(yōu)勢謀取暴利，而是將這部分省去的費用直接回饋給廣大的客戶，讓每一個客戶買到價廉物美的產(chǎn)品，真正做到為客戶著想。

10多年的蝕刻經(jīng)驗，完善的售后服務。
用心服務，一要“真心”、“誠心”，即服務要從心靈溝通開始。只有用真心、用真誠去傳情達意，才能使彼此的交流更為順暢、更為高效、更為精彩。每一次心靈的交流和理解，都將打破心與心之間的隔閡，縮短心與心之間的距離，為下一步更高境界的心靈之旅做好鋪墊。服務從心靈的溝通開始，是卓力達人對每一位客戶的誠摯承諾。
用心服務，二要“傾心”、“熱心”，即傾注全部心血和精力全心全意為用戶服務，實心實意替用戶著想。傾心、熱心服務，要求我們必須變被動、生硬服務為主動、微笑服務，使“我對用戶微笑”的同時，“用戶也對我微笑”；心為用戶所用，情為用戶所系；急用戶之所急，想用戶之所想；想于用戶未想之先，做于用戶未做之前。
用心服務，三要“細心”、“耐心”，即細微處見真情，長期堅持見功夫。優(yōu)質(zhì)服務就是要從小事做起，從點滴做起，“勿以善小而不為”。細致入微，把一切細小的方面和環(huán)節(jié)都想到、做到；不厭其煩，耐心做到用戶滿意為止。這樣，我們的服務就會盡善盡美，就不難與用戶建立起牢不可破、長期共榮的相互關系，從而引導需求，滿足需求。

公司設立在深圳特區(qū)，建筑面積6000多平方米，擁用現(xiàn)代化廠房以及生產(chǎn)和實驗、檢測設備。關鍵設備包括：進口蝕刻生產(chǎn)線，恒溫恒濕無塵操作間，曝光機，顯影機，二次元測量儀，自動脫膜生產(chǎn)線等。
卓力達所有光學掩模板產(chǎn)品出廠均經(jīng)過生產(chǎn)巡檢，品質(zhì)檢測，出庫核實，層層把關，品質(zhì)值得信賴！

深圳市卓力達電子有限公司 http://www.www.xazaiy.com
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